目前，電液伺服閥的研究主要集中在結(jié)構(gòu)和工藝的改進(jìn)、材料的更換和試驗(yàn)方法的改變等方面。

主要內(nèi)容如下：1)在結(jié)構(gòu)改進(jìn)中，主要采用冗余技術(shù)對(duì)伺服閥結(jié)構(gòu)進(jìn)行修改。由于伺服閥是伺服系統(tǒng)的核心部件，伺服閥的性能直接關(guān)系到伺服系統(tǒng)的水平。另外，從可靠性的角度看，伺服閥的可靠性是伺服系統(tǒng)的重要組成部分。伺服閥失效的主要原因是伺服閥的污染。鑒于此，國(guó)外許多廠家對(duì)伺服閥結(jié)構(gòu)進(jìn)行了改進(jìn)，研制出了具有良好抗污染性能的射流管和部分導(dǎo)向射流伺服閥。此外，俄羅斯還在俄羅斯研制的射流管伺服閥芯兩端設(shè)計(jì)了雙冗余位置傳感器，用于檢測(cè)閥芯位置。一旦出現(xiàn)故障信號(hào)，可以立即切換備用伺服閥，大大提高了系統(tǒng)的可靠性。這種雙冗余技術(shù)在航空工業(yè)中得到了廣泛的應(yīng)用.此外，美國(guó)的Moog公司和俄羅斯的Voshod工廠為航天工業(yè)開(kāi)發(fā)了四度以上的伺服機(jī)構(gòu)。早在20世紀(jì)90年代，我國(guó)空間系統(tǒng)的相關(guān)單元就已經(jīng)開(kāi)展了冗余度等冗馀伺服機(jī)構(gòu)的開(kāi)發(fā)。將伺服閥的轉(zhuǎn)矩電機(jī)、反饋元件和滑閥對(duì)加工成多組，可隨時(shí)切換故障，保證系統(tǒng)正常運(yùn)行。此外，多線圈結(jié)構(gòu)或具有零保護(hù)裝置、外部過(guò)濾器等類型的伺服閥也廣泛應(yīng)用于冶金、電力、塑料等行業(yè)。

2)在加工工藝改進(jìn)方面，采用了新的加工設(shè)備和工藝，提高了伺服閥的加工精度和加工能力。例如，在閥芯閥套磨削方法中，上海交通大學(xué)和哈爾濱工業(yè)大學(xué)開(kāi)發(fā)了一套智能化、自動(dòng)化的磨削系統(tǒng)。特別是哈爾濱工業(yè)大學(xué)的磨削系統(tǒng)，改變了傳統(tǒng)的氣動(dòng)磨削方式，以液壓油為測(cè)量介質(zhì)，更直接地反映了被測(cè)滑閥副的實(shí)際情況，提高了測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性和準(zhǔn)確性。在扭矩電機(jī)焊接方面，船舶重工704研究所與德國(guó)知名廠家合作，對(duì)工程網(wǎng)絡(luò)的版權(quán)進(jìn)行控制，采用了世界上最先進(jìn)的焊接技術(shù)，取得了良好的效果。此外，哈爾濱工業(yè)大學(xué)還研制了伺服閥力矩電機(jī)彈性元件智能測(cè)量裝置。解決了原有手工測(cè)量方法測(cè)量精度低、操作復(fù)雜、效率低等問(wèn)題。對(duì)于彈性元件，可以有效地完成剛度測(cè)量，得到完整的測(cè)量曲線，不重復(fù)性測(cè)量誤差小于1%。

3)在更換材料方面，除了使用部分強(qiáng)度、彈性、硬度等力學(xué)性能較好的材料外，特殊材料還用于特殊用途的伺服閥。例如，德國(guó)公司用紅寶石材料制造噴嘴齒板，以防止因送風(fēng)而損壞齒輪板和噴嘴，降低動(dòng)靜態(tài)性能，從而縮短使用壽命。機(jī)械反饋桿頭部的球也是用紅寶石制成的，防止球體與閥芯槽之間磨損，使閥門失去控制和尖叫。航空六O九所、中船重工第七O四研究所等單位均選用新資料研制了能以航空火油、柴油為介質(zhì)的耐腐蝕伺服閥。此外對(duì)密封圈的資料也進(jìn)行了更替，使伺服閥耐高壓、耐腐蝕的功能得到進(jìn)步。

4）在測(cè)驗(yàn)方法改善方面，隨著計(jì)算機(jī)技術(shù)的高速開(kāi)展生產(chǎn)單位均選用計(jì)算機(jī)技術(shù)對(duì)伺服閥的靜、動(dòng)態(tài)功能進(jìn)行測(cè)驗(yàn)與計(jì)算。某些單位還對(duì)如何進(jìn)步丈量精度，降低丈量?jī)x器自身的振蕩、熱噪聲和外界的高頻攪擾對(duì)丈量結(jié)果的影響，作了深化的研究。如選用測(cè)頻/測(cè)周法、尋優(yōu)信號(hào)測(cè)驗(yàn)法、小波消噪法、正弦輸入法及數(shù)字濾波等新技術(shù)對(duì)伺服閥測(cè)驗(yàn)設(shè)備及方法進(jìn)行了研制和改善。